實(shí)驗(yàn)室用氣體流量計(jì)：最全分類解析及應(yīng)用場(chǎng)景詳解

2025-09-24

這里為您提供一份簡(jiǎn)潔明了的實(shí)驗(yàn)室用氣體流量計(jì)分類解析及應(yīng)用指南。

一、核心分類（按測(cè)量原理）

實(shí)驗(yàn)室氣體流量計(jì)主要分為兩大類：體積流量計(jì)和質(zhì)量流量計(jì)。

分類	工作原理	優(yōu)點(diǎn)	缺點(diǎn)	典型應(yīng)用場(chǎng)景
1. 質(zhì)量流量計(jì) (MFM)	直接測(cè)量單位時(shí)間內(nèi)流過(guò)氣體的質(zhì)量。核心原理是流體流經(jīng)被加熱的管道時(shí)，會(huì)帶走熱量，通過(guò)測(cè)量溫度差來(lái)?yè)Q算質(zhì)量流量。	讀數(shù)直接（如 sccm, slm），不受溫度、壓力影響，精度高，響應(yīng)快。	價(jià)格相對(duì)較高；對(duì)氣體潔凈度有要求。	化學(xué)反應(yīng)（如CVD、MOCVD）、細(xì)胞培養(yǎng)、氣相色譜載氣控制、需要精確配氣的任何場(chǎng)景。
2. 體積流量計(jì)	測(cè)量單位時(shí)間內(nèi)流過(guò)氣體的體積。	結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，成本較低。	讀數(shù)受環(huán)境溫度、壓力影響，需要換算才能得到標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的流量。
2.1 轉(zhuǎn)子流量計(jì)	基于浮子在垂直錐形管中旋轉(zhuǎn)上升的高度來(lái)測(cè)量流量。	價(jià)格低廉，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單直觀，無(wú)需電源。	精度較低，需垂直安裝，對(duì)振動(dòng)敏感。	教學(xué)演示、氣體粗略分配、通風(fēng)櫥氣路指示。
2.2 皂膜流量計(jì)	通過(guò)測(cè)量皂膜在標(biāo)準(zhǔn)玻璃管內(nèi)移動(dòng)一定體積所需的時(shí)間來(lái)計(jì)算流量。	實(shí)驗(yàn)室基準(zhǔn)儀器，精度極高，常用于校準(zhǔn)其他流量計(jì)。	無(wú)法連續(xù)測(cè)量，操作繁瑣，為手動(dòng)測(cè)量設(shè)備。	流量計(jì)校準(zhǔn)、低流量的精確測(cè)量和驗(yàn)證。
2.3 渦街流量計(jì)	流體流過(guò)漩渦發(fā)生體時(shí)產(chǎn)生交替的漩渦，通過(guò)測(cè)量漩渦頻率計(jì)算流量。	量程寬，穩(wěn)定性好，無(wú)活動(dòng)部件。	對(duì)振動(dòng)敏感，低流速測(cè)量效果不佳。	實(shí)驗(yàn)室中型氣源總管路的流量監(jiān)測(cè)。

二、特殊類型：質(zhì)量流量控制器 (MFC)

這是實(shí)驗(yàn)室最常用、最重要的控制型流量計(jì)。它在質(zhì)量流量計(jì) (MFM) 的基礎(chǔ)上，增加了一個(gè)自動(dòng)控制閥和一個(gè)閉環(huán)控制系統(tǒng)。

功能：不僅能測(cè)量實(shí)時(shí)流量，更能根據(jù)用戶的設(shè)定值，自動(dòng)、精確地控制閥門開度，使實(shí)際流量穩(wěn)定在設(shè)定值。
應(yīng)用：凡是需要精確、穩(wěn)定、可編程控制氣體流量的場(chǎng)景，幾乎都使用MFC。 例如：
- 半導(dǎo)體工藝設(shè)備（CVD, PECVD, Etching）
- 催化劑評(píng)價(jià)裝置
- 燃料電池測(cè)試系統(tǒng)
- 任何需要多種氣體按比例精確混合的實(shí)驗(yàn)。

三、應(yīng)用場(chǎng)景快速選擇指南

實(shí)驗(yàn)需求	推薦首選類型	關(guān)鍵考量
精確控制反應(yīng)氣體流量（如合成、沉積）	質(zhì)量流量控制器 (MFC)	精度、重復(fù)性、控制穩(wěn)定性、耐腐蝕性（根據(jù)氣體選擇材質(zhì)）。
監(jiān)測(cè)或控制細(xì)胞培養(yǎng)箱內(nèi)的CO?濃度	質(zhì)量流量控制器 (MFC) 或熱式質(zhì)量流量計(jì) (MFM)	小流量下的精確性和穩(wěn)定性。
校準(zhǔn)其他流量計(jì)	皂膜流量計(jì)	作為基準(zhǔn)，追求最高絕對(duì)精度。
教學(xué)實(shí)驗(yàn)、粗略觀察氣流	轉(zhuǎn)子流量計(jì)	成本、直觀性。
監(jiān)測(cè)壓縮空氣或氮?dú)饪偣艿南牧?/strong>	渦街流量計(jì)	中等流量范圍，耐用性。
僅需知道瞬時(shí)流量，無(wú)需控制	熱式質(zhì)量流量計(jì) (MFM)	讀數(shù)直接，精度高于轉(zhuǎn)子流量計(jì)。

總結(jié)

要精確控制，選MFC（質(zhì)量流量控制器）。
要高精度測(cè)量（不控制），選MFM（質(zhì)量流量計(jì)）。
要低成本、粗略指示，選轉(zhuǎn)子流量計(jì)。
要校準(zhǔn)或獲得基準(zhǔn)值，選皂膜流量計(jì)。

希望這份簡(jiǎn)潔的分類解析能幫助您快速選擇合適的實(shí)驗(yàn)室氣體流量計(jì)。如想了解更多流量計(jì)相關(guān)信息或者流量計(jì)選型，可咨詢艾絲特流量計(jì)廠家技術(shù)客服：180 1926 2426（微信同號(hào)）獲取幫助。